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- [实用新型]成膜用立式载板-CN202320953079.4有效
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盛忍;林宏俊;苏文章
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理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司
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2023-04-24
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2023-10-20
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C23C16/458
- 本实用新型提供一种成膜用立式载板。所述成膜用立式载板包括载板盘体，所述载板盘体上针对每片硅片设置一个承载区，每个承载区周边设置有多个限位件，每个限位件包括设置在所述载板盘体上的基座、设置在所述基座上的四叶形旋钮、设置成依次穿过所述四叶形旋钮以及基座的销轴，所述销轴与四叶形旋钮之间还设置有弹性件，固定件穿过载板盘体并连接至所述销轴的底部从而将限位件固定在所述载板盘体上，所述四叶形旋钮能沿销轴转动并通过其叶片进入或离开所述承载区而对应阻挡或不阻挡其承载的硅片本实用新型能降低在载板中取放硅片时硅片的破损率，并能解决因载板变形导致的硅片卡住以及难以到位的问题。
- 成膜用立式
- [发明专利]一种载具及成膜方法-CN202111428386.2在审
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魏俊喆;方亮;薛朝伟
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西安隆基乐叶光伏科技有限公司
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2021-11-26
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2022-04-12
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C23C14/50
- 本发明提供了一种载具及成膜方法，涉及成膜技术领域。载具包括：载板及设置在载板的第一表面上复数个横竖交错的成膜容置位；所述成膜容置位具有第一区域和环绕第一区域的第二区域；在第一区域放置待镀件的情况下，待镀件的反面放置在载具上，待镀件的正面和至少部分侧面裸露以供成膜溶液在所述待镀件的正面和至少部分侧面成膜，滞留的所述成膜溶液收纳在所述第二区域；所述待镀件的正面与反面相对。滞留的成膜溶液，特别是为侧面成膜所滞留的成膜溶液会收纳在载具的成膜容置位的第二区域，而不会掉落至成膜设备的工作台上，不会污染成膜设备的工作台，保证成膜连续进行，载具上的成膜容置位是复数个，实现了量产化。
- 一种方法
- [实用新型]光伏电池成膜设备-CN202320121199.8有效
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李权;钟双全;张开旺;卢俊雄;陈皓
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隆基绿能科技股份有限公司
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2023-01-29
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2023-06-06
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H01L21/673
- 本申请公开了一种光伏电池成膜设备，包括成膜载板，成膜载板包括：载板本体，以及设置于载板本体的多个用于承载硅片的承载单元；每个承载单元包括：第一承载台、第二承载台和限位柱；第一承载台设置于载板本体，第一承载台的中间设有凹槽，第一承载台用于与硅片的边缘接触以承载硅片；第二承载台环绕设于第一承载台远离凹槽的一侧，沿凹槽的槽底到槽口的方向，第二承载台高出第一承载台预定高度；第二承载台上远离载板本体的一端间隔设有多个限位柱。通过第二承载台对硅片的边缘形成遮挡，可以有效避免硅片边缘绕度问题，通过间隔设置的限位柱，既能实现对硅片的限位作用，又便于硅片正面边缘部位均匀成膜，能够提高硅片正面成膜的均匀性。
- 电池设备
- [实用新型]成膜系统及成膜装置-CN202220519843.2有效
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坂爪崇寛;桥上洋
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信越化学工业株式会社
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2022-03-10
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2022-12-02
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C23C16/40
- 本实用新型的成膜装置对经雾化的原料溶液进行热处理而在基板上进行成膜，所述成膜装置包括：雾化部，将所述原料溶液雾化而产生雾；载气供给部，供给载气，所述载气搬送所述雾化部中所产生的所述雾；成膜部，在内部包括载置所述基板的载置部，将由所述载气搬送的所述雾供给至所述基板上；以及排气部，从所述成膜部排出废气，且在所述成膜部内的所述载置部的上方进而包括：喷嘴，向所述基板上供给所述雾；以及顶板，将从所述喷嘴供给的所述雾进行整流。由此，提供一种能够应用雾CVD法、能够形成膜厚的面内均一性优异的膜的成膜系统及成膜装置。
- 系统装置
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